M-2000® Ellipsometer

모든 Application에 적용 가능한 Ellipsometer. Rotating compensator 기술이 적용된 Ellipsometer로, 193-1690nm의 파장에서 측정이 가능합니다. Thin Film, Bulk materials, Dielectrics, Semiconductors, Polymers, Metals, Display, Bio, 태양광 등의 다양한 분야에서 사용됩니다.

RC2® Ellipsometer

비등방성 측정에 최적화된 Ellipsometer. Dual Rotating Compensator 기술이 적용된 Muller Matrix 16개 항을 모두 측정 할 수 있는 Ellipsometer 입니다. 전체파장(190-2500nm)에서 0.3초의 빠른 시간으로 두께 및 굴절률을 측정합니다.

V-VASE® Ellipsometer

Monochromator Type Ellipsometer. Rotating Analyzer 와 Auto-Retarder technology가 결합된 Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer입니다. 193 ~ 3200nm 의 파장 대역에서 0.03nm의 spectral resolution을 가지고 있어 연구용으로 적합합니다.

VUV-VASE® Ellipsometer

Vacuum UV Ellipsometer 146 - 2500nm의 파장에서 측정 가능한 Ellipsometer 입니다. Lithography, ARC applications 에서 사용하는 157nm, 193nm, 248nm 파장 에서의 n, k 를 측정합니다.

IR-VASE® Mark II Ellipsometer

IR 전용 Ellipsometer 1.7 ~ 30 um 의 파장에서 Thin Film 과 Bulk Materials 에 대한 을 측정하는 Ellipsometer 입니다. 특히 Aerospace 및 Defense Application에서 사용됩니다.

alpha-SE® Ellipsometer

Compact Design Ellipsometer 초소형, 초간편 구성으로 380 ~ 900nm 파장에서 두께 및 굴절률 측정에 최적화된 Ellipsometer 입니다.

T-Solar™ Ellipsometer

SolarCell 전용 Ellipsometer Photovoltaic application 에 최적화된 Ellipsometer 입니다. Textured Mono, Multicrystalline Substarates 및 Organic PV Materials 등의 sample 측정이 가능합니다.