VUV-VASE^®

Vacuum UV 물질 연구에 사용되는 장비 이며 146 ~ 2500nm 까지 광범위한 영역에서 Thin Film(박막) 의 두께 및 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정합니다.

특징 및 주요기능

* RAE(Rotating Analyzer Ellipsometer) Technology

* 자체 특허Auto-Retarder Design

* Monochromator Design

* VUV~MIR (146~2500nm) 파장 영역 0.03nm 단위 측정

적용 및 응용분야

* Photoresists

* Bottom and Top AR Coatings

* Photomask Coatings

* Hardmasks

* Pellicles

* CaF2 Optics