in-situ박막 공정 실시간 모니터링에 최적화된  Ellipsometer이며, Thin Film(박막) 두께 및 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정하는 장비 입니다.

특징 및 주요기능


* Dual-Rotationtm Optical Design

* 자체 특허Compensator Design

* CCD detector를 이용한 빠른 측정 속도(1)

* VIS (400~1000nm) 190개 파장 동시 측정

* 두께, n,k, Color 측정

적용 및 응용분야


* Thin film thickness from single or multiple layers

* Growth or etch rates

* Process kinetics

* Surface quality before and after processing

* Film nucleation behavior

* Process conditions that affect optical constants

* Real-time end-point detection


Introduction to the iSE Spectroscopic Ellipsometer from J.A. Woollam Co. on Vimeo.

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