Zygo - 위즈옵틱스

3차원형상측정기 0.08nm 분해능의 백색광 간섭계로, 미세 표면 형상, 조도(roughness) 및 박막의 표면 측정에 사용됩니다.

Full Auto 3차원형상측정기 0.06nm 분해능의 Full Auto 백색광 간섭계로, 미세 표면 형상, 조도(roughness) 및 박막의 표면 측정에 사용되며, Real Color Image 구현이 가능합니다.

진동에 무관한 3차원형상측정기 SureScan™ 기술을 이용하여 방진테이블 없이도 측정이 가능한 신기술 3차원 형상측정기이며 산업현장에 사용하기 적합합니다.

대면적 3차원형상측정기 650mm 대형스테이지를 적용한 백색광 간섭계로, PCB Panel, Display, Semiconductor 분야의 대면적 제품을 측정합니다.

광부품 및 렌즈 측정기 Fizeau 타입의 Phase Shifting Interferometer로, 렌즈 및 광부품의 표면 형상 오차, 수차, 곡률반경 및 불균일도를 측정합니다.

광부품 및 렌즈 측정기 고해상도 고속 카메라를 장착하여 진동의 영향을 받지 않는 Common-Path의 Phase Shifting Interferometer 입니다.

실시간 무진동 Fizeau간섭계 최신 기술인 DynaPhase™를 이용하여 극도의 진동과 Air Turbulence 가 있는 환경에서도 측정이 가능하여, 실시간으로 대구경 미러 또는 렌즈의 표면 형상 측정 및 광학계 정렬(align)에 사용됩니다.

IR간섭계 3.39um, 10.6um 파장의 광원을 사용하는 PSI 간섭계로 Defense 및 Aerospace Application에 사용됩니다.

대구경 Fizeau간섭계 대구경 미러 또는 대형 Wafer Chuck을 한번에 측정할 수 있는 대구경 Vertical간섭계입니다.

대구경 Fizeau간섭계 대구경 미러 또는 대형 Wafer Chuck을 한번에 측정할 수 있는 대구경 간섭계입니다. 12 inch (300mm), 18 inch (450mm), 24 inch (600mm), 32 inch ( 800mm)

초정밀 스테이지 제어용 간섭계 스테이지의 위치 정밀도를 수nm이하로 제어하는 변위측정간섭계입니다.

대면적 3차원형상측정기 650mm 대형스테이지를 적용한 백색광 간섭계로, PCB Panel, Display, Semiconductor 분야의 대면적 제품을 측정합니다.

Qualfire는 Zygo의 새로운 Fizeau 타입의 레이저 간섭계로 품질 보증 및 재품 생산 후 성능 평가 및 분석에 더욱 용의 해진 간섭계 입니다.