NewView ™ Series

3차원형상측정기 0.1nm 분해능의 백색광 간섭계로, 미세 표면 형상, 조도(roughness) 및 박막의 표면 측정에 사용됩니다.

Nexview ™

Full Auto 3차원형상측정기 0.1nm 분해능의 Full Auto 백색광 간섭계로, 미세 표면 형상, 조도(roughness) 및 박막의 표면 측정에 사용되며, Real Color Image 구현이 가능합니다.

ZeGage™ Plus

진동에 무관한 3차원형상측정기 SureScan™ 기술을 이용하여 방진테이블 없이도 측정이 가능한 신기술 3차원 형상측정기이며 산업현장에 사용하기 적합합니다.

APM 650™

대면적 3차원형상측정기 650mm 대형스테이지를 적용한 백색광 간섭계로, PCB Panel, Display, Semiconductor 분야의 대면적 제품을 측정합니다.

Verifire™ Series

광부품 및 렌즈 측정기 Fizeau 타입의 Phase Shifting Interferometer로, 렌즈 및 광부품의 표면 형상 오차, 수차, 곡률반경 및 불균일도를 측정합니다.

Verifire™ HD

광부품 및 렌즈 측정기 고해상도 고속 카메라를 장착하여 진동의 영향을 받지 않는 Common-Path의 Phase Shifting Interferometer 입니다.

Dynafiz™

실시간 무진동 Fizeau간섭계 최신 기술인 DynaPhase™를 이용하여 극도의 진동과 Air Turbulence 가 있는 환경에서도 측정이 가능하여, 실시간으로 대구경 미러 또는 렌즈의 표면 형상 측정 및 광학계 정렬(align)에 사용됩니다.

IR Verifire

IR간섭계 3.39um, 10.6um 파장의 광원을 사용하는 PSI 간섭계로 Defense 및 Aerospace Application에 사용됩니다.

Verifire™ XL

대구경 Fizeau간섭계 대구경 미러 또는 대형 Wafer Chuck을 한번에 측정할 수 있는 대구경 Vertical간섭계입니다.

Large Aperture System

대구경 Fizeau간섭계 대구경 미러 또는 대형 Wafer Chuck을 한번에 측정할 수 있는 대구경 간섭계입니다. 12 inch (300mm), 18 inch (450mm), 24 inch (600mm), 32 inch ( 800mm)

ZMI™ Series

초정밀 스테이지 제어용 간섭계 스테이지의 위치 정밀도를 수nm이하로 제어하는 변위측정간섭계입니다.

Nomad™

Nomad™ 소형크기의 이동형 간섭계로써 대구경 미러 및 렌즈를 측정하는데 사용 됩니다.