Nexview™

Nexview   0.1nm의 분해능을 가지는 Full Auto

비 접촉 3차원 표면형상측정기(Full Auto 3D Profiler, Coherence Scanning Interferometer)입니다. 이 장비는 미세 표면 형상(Surface profile, Topography) 및 조도(Roughness)를 측정하는데 주로 사용되며, 초당 96um의 속도로 수 초 내에 측정됩니다. 새로워진 윈도우 기반의 Mx™ 소프트웨어를 통해 사용이 편리해졌습니다.

스테이지와 Z축 뿐만 아니라 모든 기능들을 자동으로 제어하는 Full Automatic System 입니다.

 

특징 및 주요기능

- 기존의 SWLI(NewView Series)와 동일한 목적으로 사용가능

-   Full Automation System

-   Auto Stitching 기능을 이용한 대면적 미세형상 자동측정

-  모든 대물렌즈에서 0.1nm Vertical Resolution

-  96um/s의 고속측정으로 안정적인 데이터 확보

-   새로운 측정기술인 SureScan FDA™기술 적용

-  Smart PSI 를 이용한 Sub-Angstrom (Super-Smooth Surface) 급의 정밀 조도측정 ; 5초 내에 32회 반복측정가능

-  방진테이블(Anti-Vibration) 일체형 장비

-  All-New Mx Software 탑재

-  ISO 25178 Surface Measurement Parameter

-  RGB LED 광원 사용으로 Real Color 측정

 

 

 

 

적용 및 응용 분야

- 미세한 표면 형상 및 조도 측정

- LCD Display  소자 측정

- Color Filter RGB 높이 측정.

- Glass 또는 Wafer Roughness 측정 및 Dust Inspection

- 비구면 렌즈 또는 각종 금형의 Roughness 측정

- Back Light Unit Roughness Angle 측정

-Wafer 뒷면의 Packaging 또는 Laser Marking Roughness

측정

- MEMS device 및 정밀 표면

- 자동차 (Automobile) 부품 및 재료 측정

- Solar Cell Texture 및 전극(Finger) 측정

 


 

 

 

 

Model

ZeGage

ZeGage Plus

NewView8000

Nexview

Core Technology

CSI ( Coherence Scanning Interferometry )

CSI & PSI

Vert. Scan Speed

35 μm/s

73 μm/s

96 μm/s

Max. Step Height

20 mm

System Zoom

Fixed

Automated

Z Stage

Automated

X/Y Stage

Manual or Automated ( Optional )

Automated

Field of View

9 mm

16 mm

Software

Mx





















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