Verifire™ Series

Verifire Series Zygo사의 가장 대표적인 간섭계 군으로

PZT에 의한 위상변화를 이용하여 측정하는 Fizeau 타입

Phase Shifting Interferometer입니다.높은 분해능과 뛰어

난 분석 프로그램을 이용하여 다양한 분야에서 사용할 수

있습니다.

 

특징 및 주요기능

- 4” 및 6” 로 collimate된 광원을 이용하여 한번에 넓은 면적 측정

- 측정 속도가 매우 빠른 정밀한 위상 측정 간섭계Mx™ 및

MetroPro® software 이용 2D, 3D이미지로 다양한 Plot을 제공

- 측정 및 분석이 매우 간편

- 평판 및 구면렌즈 측정에 표준이 되는 장비

- 우수한 반복성

- 높은 데이터 신뢰도 제공

 

 

 

 

 

적용 및 응용 분야

- Glass 또는 Plastic 광학 부품

- 다양한 평면 및 구면 Optics (Lens, Mirror)

- 광 픽업용 렌즈 수차(Abberation)

- Corner Cube 또는 Prism의 각도 오차

- Bearings, Sealing, Polished Ceramics, Hard Disk

- Contact lens molds 등의 금속부품

- Homogeneity

- 복잡한 광학계 시스템의 투과파면 분석

- 곡률반경 (Radius of Curvature) 측정

- Wafer Warpage 측정

 




 

l

Verifire

HD

Dynafiz

MST

Core Technology

Phase-Shifting Interferometer (PSI)

PSI & DynaPhase

Fourier Transform

Phase Shifting

Interferometry

QPSI

Yes

No

Source

Point source and proprietary coherent extended source

(artifact reduction)

Point Source and

Ring of Fire

Zoom

Motorized 1-6X(1-50X digital)

Encoded 1-5X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Encoded 1-5X

Focus

Motorized & Encoded

Camera Resolution

1K x 1K

2.3K x 2.3K, 1.2K x 1.2K

1.2K x 1.2K

1K x 1K

Camera Frame Rate

100 Hz

205 Hz

50 Hz

43 Hz



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