NewView™ Series

NewView Series 0.08nm의 분해능을 가지는 비 접촉 3차원 표면형상측정기(3D Profiler, Coherence Scanning Interferometer)입니다. 이 장비는 미세 표면 형상(Surface profile, Topography) 및 조도(Roughness)를 측정하는데 주로 사용되며, 초당 32~171의 속도로 수 초 내에 측정됩니다.

Part Finder기능으로 간섭무늬를 쉽게 찾을수 있으며, Smartsetup Technology를 통해 한번의 클릭으로 측정을 완료할수 있습니다.

 

특징 및 주요기능

- Auto Stitching 기능을 이용한 대면적 미세형상 자동측정

- 모든 대물렌즈에서 0.08nm Vertical Resolution

- 32~171/s의 고속측정으로 안정적인 데이터 확보

- 새로운 측정기술인 SureScan FDA™기술 적용

- All-New Mx Software 탑재

- ISO 25178 Surface Measurement Parameter

 


 

 

적용 및 응용 분야

- 미세한 표면 형상 및 조도 측정

- LCD Display  소자 측정

- Color Filter RGB 높이 측정.

- Glass 또는 Wafer Roughness 측정 및

   Dust Inspection

- 비구면 렌즈 또는 각종 금형의 Roughness 측정

- Back Light Unit Roughness Angle 측정

- Wafer 뒷면의 Packaging 또는 Laser Marking

   위한 Roughness 측정

- MEMS device 및 정밀 표면

- 자동차 (Automobile) 부품 및 재료 측정

- Solar Cell Texture 및 전극(Finger) 측정


 


 


 

 벽, 실내, 테이블, 모니터이(가) 표시된 사진

자동 생성된 설명

 

 

 

Model

ZeGage™ Pro

ZeGage™ Pro HR

NewView™ 9000

NexView™ NX2

Core Technology

CSI ( Coherence Scanning Interferometry )

CSI & PSI

Vert. Scan Speed

10.7 ~ 171 /s

32 ~ 171 /s

53 ~ 171 /s

Max. Step Height

20 mm

System Zoom

Fixed

Automated

Z Stage

Automated

X/Y Stage

Manual or Automated ( Optional )

Automated

Field of View

17.49 mm

Software

Mx




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