NewView™ Series

NewView Series 0.1nm의 분해능을 가지는 비 접촉 3차원 표면형상측정기(3D Profiler, Coherence Scanning Interferometer)입니다. 이 장비는 미세 표면 형상(Surface profile, Topography) 및 조도(Roughness)를 측정하는데 주로 사용되며, 초당 96um의 속도로 수 초 내에 측정됩니다. 새로워진 윈도우 기반의 Mx™ 소프트웨어를 통해 사용이 편리해졌습니다.

 

특징 및 주요기능

- Auto Stitching 기능을 이용한 대면적 미세형상 자동측정

- 모든 대물렌즈에서 0.1nm Vertical Resolution

- 96um/s의 고속측정으로 안정적인 데이터 확보

- 새로운 측정기술인 SureScan FDA™기술 적용

- All-New Mx Software 탑재

- ISO 25178 Surface Measurement Parameter

 

 

 

적용 및 응용 분야

- 미세한 표면 형상 및 조도 측정

- LCD Display  소자 측정

- Color Filter RGB 높이 측정.

- Glass 또는 Wafer Roughness 측정 및

   Dust Inspection

- 비구면 렌즈 또는 각종 금형의 Roughness 측정

- Back Light Unit Roughness Angle 측정

- Wafer 뒷면의 Packaging 또는 Laser Marking

   위한 Roughness 측정

- MEMS device 및 정밀 표면

- 자동차 (Automobile) 부품 및 재료 측정

- Solar Cell Texture 및 전극(Finger) 측정

 

 

 

 

Model

ZeGage

ZeGage Plus

NewView8000

Nexview

Core Technology

CSI ( Coherence Scanning Interferometry )

CSI & PSI

Vert. Scan Speed

35 μm/s

73 μm/s

96 μm/s

Max. Step Height

20 mm

System Zoom

Fixed

Automated

Z Stage

Automated

X/Y Stage

Manual or Automated ( Optional )

Automated

Field of View

9 mm

16 mm

Software

Mx



















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