Qualfire™ Series

Qualfire™는 Zygo의 새로운 Fizeau타입의 레이저 간섭계로 품질 보증 및 재품 생산 후 성능 평가 및 분석에 

더욱 용의 해진 간섭계 입니다.

기존 Verifire 대비 더욱 작고 가벼워진 23kg 미만의 

장비로 보다 쉽게 장비를 이동할 수 있어 광학 부품 정렬 및 대형 광학계 측정 등 테스트 부품을 장비로 가져오기 힘든 상황에서 특히 유용합니다.

▪ 특징 및 주요기능

- Zygo특허 기술을 사용한 높은 신뢰도의 노이즈감소 시스템

- 정밀한 자동 초점

- 정확도가 손실되지 않는 안정적인 줌

- 스마트 액세서리를 사용한 자동 설정 및 측정

▪ 적용 및 응용 분야

- Glass 또는 Plastic 광학 부품

- 다양한 평면 및 구면 Optics (Lens, Mirror등)

- 광 픽업용 렌즈 수차(Abberation)

- Corner Cube 또는 Prism의 각도 오차

- Bearings, Sealing, Polished Ceramics, Hard Disk등

- Contact lens molds 등의 금속부품

- Homogeneity

- 복잡한 광학계 시스템의 투과파면 분석

- 곡률반경 (Radius of Curvature) 측정

- Wafer Warpage 측정

l

Verifire

HD

 Quarifire

Dynafiz

MST

Core Technology

Phase-Shifting Interferometer (PSI)

PSI & DynaPhase

Fourier Transform

Phase Shifting

Interferometry

QPSI

Yes

No

Source

Point source and proprietary coherent extended source

(artifact reduction)

Point Source and

Ring of Fire

Zoom

Motorized 1-6X(1-50X digital)

Encoded 1-5X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Encoded 1-5X

Focus

Motorized & Encoded

Camera Resolution

1K x 1K

2.3K x 2.3K, 1.2K x 1.2K

 1.2k x 1.2k

1.2K x 1.2K

1K x 1K

Camera Frame Rate

100 Hz

205 Hz

130 Hz

50 Hz

43 Hz