ZMI™ Series

ZMI는 초정밀 스테이지 제어용 간섭계로 스테이지의 위치 정밀도를 수nm이하로 제어하는 변위측정간섭계입니다.

Zygo는 변위 측정용 간섭계에 있어서 최고 수준의 기술을 갖고 있습니다.

▪ 특징 및 주요기능

- 사용자 요구의 맞는 가장 적절한 구성 요소를 선택하여 시스템을 제공.

- Heterodyne 광원을 이용하여 높은 분해능을 갖는 변위 측정용 간섭계.

- 높은 안정성, 쉬운 Align 및 Signal의 진폭 변화에 있어 빠르게 대응. 

- 하나의 광원으로 여러 축 ( multiple Axis)을 제어

▪ 적용 및 응용 분야

리소그래피 tool : 광학 stepper, Scanners, E-beam 및 Laser mask writers

계측장비 tool : Mask, wafer and LCD inspection and Measurement tool, CD-SEMs

Process equipment: memory repair tools, probers, die bonders, drilling tools

Model

7705

7702

7714

7722 / 7724

Split Frequency

3.6 MHz (Zeeman )

20 MHz ( AOM )

Output Power

>250 µW

>400 µW

>1250 µW

>900 µW per DM

Laser Classification

Class II

Class IIIa

Frequency Stability (3σ,1hr)

10 ppb

2 ppb

0.5 ppb

Beam Size

4 mm

3 or 6 mm

6 or 8 mm

6 or 10 mm

Heat Dissipation

7 W

39 W

8 W

LM: 5 W    DM: 0.02 W

Expected Laser Tube Life

20,000 hour

50,000 hour

Cooling Method

Air

Water

Cooling Method

No

Yes