Large Aperture System

기존의 Verifire 에 Beam Expander 를 장착하여 Aperture Size 를 대구경으로 확장하여 사용하는 모델입니다. Aperture Size는 12 inch (300mm), 18 inch (450mm), 24 inch (600mm), 32 inch ( 800mm) 까지 확장이 가능하며 VeriFire 본체로는 Verifire, Verifire HD, Verifire MST, Dynafiz 모델이 사용가능합니다.

▪ 특징 및 주요기능

- 대구경을 한번에(One Shot) 측정

- 최소 λ/15 PVr 이상의 초정밀 Transmission Flat (Master lens) 사용

- 평면 전체에 대한 Flatness를 1um이하로 정밀하게 측정함

- 부분적 또는 선형적으로만 측정하던 대형 평판의 전체형상을 3D로 분석함으로써 왜곡된 데이터 없이

오차 확률을 최소화 함.

- 측정된 data를 임의로 분할하여 Local Flatness

  (STIR : Site Total Indicator Reading, SFQR: Site Frontside Least Squares Focal Plane Range)를 분석가능

▪ 적용 및 응용 분야

- 반도체용 Vacuum Chuck 의 Flatness 측정

- 다양한 크기의 Wafer Flatness 측정

- 대구경 평판 Glass 또는 Mirror의 Flatness 측정