Verifire™ XL

Verifire™ XL 모델은 Vertical 형태의 대구경 미러 (300mm)를 한번에 (one shot) 측정할 수 있는 Fizeau 타입 간섭계입니다. Vertical 타입으로 공간에 제약이 Horizintal 타입에 비해 적으며 제진 설계 와 QPSI 모드 적용으로 진동 환경에서도 고정밀 데이터를 얻을 수 있습니다.

▪ 특징 및 주요기능

-12인치 (300mm) Beam expander 일체형으로  대구경 렌즈를 한번에 측정

- Vertical 타입의 시스템설계로 설치 공간에 대한 제약이 없음

- 300mm Transmission Flat은 중력에 의한 처짐 현상을 최소화 하도록 설계되어 시스템의 정확도 향상

- 통합적 제진 설계와 QPSI 모드를 이용하여

- 진동이 있는 환경에서도 신뢰성 높은 측정

- 2D,3D이미지로 다양한 Plot을 제공

- 측정 및 분석이 매우 간편

- 우수한 반복성

- 높은 데이터 신뢰도 제공

- 측정된 data를 임의로 분할하여 Local Flatness

  (STIR : Site Total Indicator Reading, SFQR: Site Frontside Least Squares Focal Plane Range) 를 분석가능

▪ 적용 및 응용 분야

- 반도체용 Vaccuum Chuck 의 Flatness 측정

- 다양한 크기의 Wafer Flatness 측정

- 대구경 평판 Glass 또는 Mirror의 Flatness 측정