▪ 특징
및 주요기능
- 3.39 μm 레이저 광원
-10.6 µm(CO2) 레이저 광원
- 632.8nm(HeNe) 레이저 이용하여 alignment 용이
- 4” 및 6” 로collimate된 광원을 이용하여 한번에 넓은 면적 측정
- 측정속도가
매우 빠른 정밀한 위상 측정 간섭계
- Mx™ 및 MetroPro® software 이용
- 2D,3D이미지로
다양한 Plot을 제공
- 측정 및
분석이 매우 간편
- 우수한 반복성
- 높은 데이터
신뢰도 제공
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