Dynafiz™

Dynafiz ™ 는 Zygo사의 최신 기술인 DynaPhase^TM 기술을

이용하여 진동과 Air Turbulence 가 있는 환경에서 Dynamic 측정이 가능한 Fizeau 타입 간섭계입니다. 새로워진 윈도우

기반의 Mx™ 소프트웨어를 통해 사용이 편리하며 LivePhase 기능으로 실시간 Zernike 분석이 가능 한 장비입니다.

또한 Phase Modulator를 장착하여 on-axis common path 방식으로 고 정밀 측정이 가능합니다.

▪ 특징 및 주요기능

- 4” 및 6” 로 collimate된 광원을 이용하여 한번에 넓은 면적 측정

- 대구경 렌즈 측정을 위한 타워에 적합

- Vertical work stations

- 진동이 있는 환경에서도 측정 및 분석

- 실시간 Zernike 분석

- High power, Long life Stabilized          

- HeNe laser 사용

- Mx™ 를 이용 2D,3D이미지로 다양한 Plot을 제공

측정 및 분석이 매우 간편

▪ 적용 및 응용 분야

- Glass 또는 Plastic 광학 부품

- 다양한 평면 및 구면 Optics (Lens, Mirror등)

- 광 픽업용 렌즈 수차(Abberation)

- Corner Cube 또는 Prism의 각도 오차

- Bearings, Sealing, Polished Ceramics, Hard Disk  등

- Contact lens molds 등의 금속부품

- Homogeneity

- 복잡한 광학계 시스템의 투과파면 분석

- 곡률반경 (Radius of Curvature) 측정

- Wafer Warpage 측정

- 국방 및 항공우주 연구용

- 대구경 망원카메라 광학계 Align용

l

Verifire

HD

Dynafiz

MST

Core Technology

Phase-Shifting Interferometer (PSI)

PSI & DynaPhase

Fourier Transform

Phase Shifting

Interferometry

QPSI

Yes

No

Source

Point source and proprietary coherent extended source

(artifact reduction)

Point Source and

Ring of Fire

Zoom

Motorized 1-6X(1-50X digital)

Encoded 1-5X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Encoded 1-5X

Focus

Motorized & Encoded

Camera Resolution

1K x 1K

2.3K x 2.3K, 1.2K x 1.2K

1.2K x 1.2K

1K x 1K

Camera Frame Rate

100 Hz

205 Hz

50 Hz

43 Hz