Verifire™ HD

Verifire ™ HD는 고해상도 고속 카메라를 장착하여 진동의 영향을 받지 않는 Common-Path의 Phase Shifting

Interferometer 입니다. 진동이 있는 환경에서도 QPSI 기능을 이용하여 분해능의 저하없이(1/10000 wave) 정밀측정이 가능한 장비입니다. Mx ™ 소프트웨어를 통해 쉽고 간편

하게 측정 및 데이터 분석이 가능합니다.

▪ 특징 및 주요기능

- 초 고성능 2K 카메라 적용으로 높은 해상도와 빠른 측정속도 제공

- 대구경 렌즈 측정을 위한 타워에 적합

- Vertical work stations

- 생산현장 (Production Floor)에 별도의 시설 없이 사용 할 수 있을 정도로 진동의 영향을 받지 않는 Common Path PSI 간섭계

▪ 적용 및 응용 분야

- Glass 또는 Plastic 광학 부품

- 다양한 평면 및 구면 Optics (Lens, Mirror등)

- 광 픽업용 렌즈 수차(Abberation)

- Corner Cube 또는 Prism의 각도 오차

- Bearings, Sealing, Polished Ceramics, Hard Disk  등

- Contact lens molds 등의 금속부품

- Homogeneity

- 복잡한 광학계 시스템의 투과파면 분석

- 곡률반경 (Radius of Curvature) 측정

- Wafer Warpage 측정

- 국방 및 항공우주 연구용

- 대구경 광학계 Align

l

Verifire

HD

Dynafiz

MST

Core Technology

Phase-Shifting Interferometer (PSI)

PSI & DynaPhase

Fourier Transform

Phase Shifting

Interferometry

QPSI

Yes

No

Source

Point source and proprietary coherent extended source

(artifact reduction)

Point Source and

Ring of Fire

Zoom

Motorized 1-6X(1-50X digital)

Encoded 1-5X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Fixed 1X(1-50X digital)

1X, 1.7X, 3X

Encoded 1-5X

Focus

Motorized & Encoded

Camera Resolution

1K x 1K

2.3K x 2.3K, 1.2K x 1.2K

1.2K x 1.2K

1K x 1K

Camera Frame Rate

100 Hz

205 Hz

50 Hz

43 Hz