Verifire™ Series

Verifire™ Series는 Zygo사의 가장 대표적인 간섭계 군으로

써 PZT에 의한 위상변화를 이용하여 측정하는 Fizeau 타입

의 Phase Shifting Interferometer입니다.높은 분해능과 뛰어

난 분석 프로그램을 이용하여 다양한 분야에서 사용할 수

있습니다.

▪ 특징 및 주요기능

- 4” 및 6” 로 collimate된 광원을 이용하여 한번에 넓은 면적 측정

- 측정 속도가 매우 빠른 정밀한 위상 측정 간섭계Mx™ 및

MetroPro® software 이용 2D, 3D이미지로 다양한 Plot을 제공

- 측정 및 분석이 매우 간편

- 평판 및 구면렌즈 측정에 표준이 되는 장비

- 우수한 반복성

- 높은 데이터 신뢰도 제공

▪ 적용 및 응용 분야

- Glass 또는 Plastic 광학 부품

- 다양한 평면 및 구면 Optics (Lens, Mirror등)

- 광 픽업용 렌즈 수차(Abberation)

- Corner Cube 또는 Prism의 각도 오차

- Bearings, Sealing, Polished Ceramics, Hard Disk등

- Contact lens molds 등의 금속부품

- Homogeneity

- 복잡한 광학계 시스템의 투과파면 분석

- 곡률반경 (Radius of Curvature) 측정

- Wafer Warpage 측정