APM 650™

APM650 ™ 은 고분해능을 가지는 비접촉, 비파괴의 Coherence Scanning Interferometer이며 650mm 대형 스테이지를 장착하여 PCB기판 및 디스플레이 전체 면적을  측정하는데 있어 특화되어 있는 장비입니다. 미세 표면 형상 및 조도를 측정하는데 주로 사용되며, 새로워진 윈도우 기반의 Mx™ 소프트웨어를 통해 간편하게 분석 및 측정이 가능합니다.

▪ 특징 및 주요기능

- 더욱 빨라진 Auto Sitiching 기능을 이용한 대면적 미세형상 자동측정

- 대물렌즈와 상관없이 0.1nm Vertical Resolution

- 96um/s의 고속측정으로 안정적인 데이터 확보

- 새로운 측정기술인 SureScan™ FDA™기술 적용

- All-New Mx™ Software 탑재

- ISO 25178 Surface Measurement Parameter

▪ 적용 및 응용 분야

Roughness               Via Hole

Alignment Mark             Viarecess

      Traces                   SRO PAD

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