PrimaScan R&D

PrimaScan R&D는 나노미터 이하의 코팅필름, 미크론 이하의 파티클, 스크래치, 핏츠, 범프

및 기타 결함에 대한 전체 표면 스캔 및 이미징을 지원하며

투명, 실리콘, 화합물 반도체 및 광택 처리된 금속 기판과 호환됩니다.


 

 

 Model

 PrimaScan R&D

 Maximum Sample Size

 450mm x 450mm

 Wafer Thickness Range

 0.1mm - 7mm

 PSL Sensitivity on Si / Glass

 ≥ 90nm

 Scan time for 150mm/200mm/300mm wafer

 240s / 420s / 930s












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