IR-VASE MARK II^®

Far IR (1.7 ~ 30 um) 파장 영역에서 Thin Film(박막) 의 두께 및 벌크(bulk)의 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정합니다.

특징 및 주요기능

* RCE(Rotating Compensator Ellipsometer) Technology

* 자체 특허Compensator Design

* FT-IR Source

* 1.7~30um, 333cm^-1~5900cm^-1 영역 측정

* 두께, n,k, Color 측정

적용 및 응용분야

* Molecular Bond Vibrations

* Multilayer Characterization

* Chemical composition via molecular bond vibrational absorptions

* Epitaxial layers, doping concentration and doping profiles

* Phonon Structure(Compound Semiconductors)

Spectral Range