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제 품 종 류
Phase Shiting Interferometer
제 조 사
ZYGO (USA)
모 델 명
GPI XP/D ( VeriFire XPZ )
측 정 항 목
광학 Lens 및 Glass, Wafer 의 Flatness 측정
기 타
640*480 해상도, Motorized 1-6X 줌
제 품 소 개
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측 정 문 의