제 품 종 류

 Spectroscopic Ellipsometer

제   조   사

 J.A.Woollam (USA) 

모   델   명

 V-VASE

측 정 항 목

 두께 (수 Α ~ 1μm), 광학 상수 n,k

기         타

 측정 파장 영역 : 193nm ~ 3200nm

 입사각 : 15˚ ~ 90˚ (vertical)

 Monochromator design

 Auto-Retarder design

제 품 소 개

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측 정 문 의

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