Optical Monitoring System

(AKRA, IRIS)

Optical Monitoring System은 Chamber에서 실시간으로 투과율, 반사율을 모니터링하는 모듈입니다. 사용하는 용도에 따라 Monochromator type의 AKRA와 Spectrometer type의 IRIS system 중 선택 하실 수 있으며, 기존에 사용하던 챔버 및 다양한 환경에서도 안정적이고 편리한 솔루션을 제공합니다.

▪ 특징 및 주요기능

- Wavelength range  190-5000 nm (선택사양)

- 단파장 혹은 Broad band의 투과 or 반사 측정

- 기존 사용중인 챔버및 새로운 챔버에 맞춤 설계 가능

▪ 적용 및 응용 분야

- 증착 프로세스의 실시간모니터링

- 진공 챔버 내에서의 프로세스 감시

- 코팅 증착 프로세스 데이터의 빠른 feedback